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株式会社 M.T.C
a specialist on MEMS
加工受託サービス
株式会社M.T.Cでは、半導体加工で培った豊富な知識と経験で、MEMS受託加工サービスを行っております。
前処理
・RCA洗浄
成膜
・熱Si酸化成膜
・CVD成膜
SiO2、SiN
・メタル成膜
Al、Al-Si、Al-Cu、Cu
Ti、W、Mo
フォトリソグラフィー
・コンタクトアライナー
・ステッパー
・EB露光
エッチング
・Wetエッチング
・Dryエッチング
・DRIE
Deep RIE 実施例
2 x 8 x 50 μm (深さ) SEM写真
電界メッキ
・Cuメッキ
・Niメッキ
・Auメッキ
接合
・陽極接合
・メタル-メタル接合
・プラズマ活性化接合
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